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          產品詳情
          • 產品名稱:多表面測量

          • 產品型號:Verifire? MST
          • 產品廠商:美國ZYGO
          • 產品文檔:
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          簡單介紹:
          只要一次數據采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學厚度
          詳情介紹:

          Verifire? MST多表面測量

          Verifire? MST激光干涉儀提供了一個****的嶄新的測量方式和能力,傳統的激光干涉儀應用是測量兩個面的波前變化,也就是說測量一個由兩個面所形成的腔。但是,如果所測量的是一個沒有經過鍍膜的平行平板,則就會產生兩個疊加的干涉條紋(三個面的腔所形成),這樣就會干擾標準的位相干涉測量分析?,F在,ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀解決了這一個問題,通過波長調制技術和ZYGO新的傅立葉變換方法,可以進行三個甚至四個平行面的測量,不僅可以顯示所有的面,并且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。

          三平面干涉測量

          激光干涉儀可以在你的測量中,只要一次數據采集,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同時還能得到平行平板的光學厚度:

          ?前表面形貌圖

          ?光學厚度變化

          ?物理厚度變化和后表面形變

          四表面干涉測量

          這一技術能夠通過兩次數據采集得到下列結果:

          ?前表面和后表面的形貌圖

          ?物理厚度變化

          ?光學厚度變化

          ?折射率變化
          -非線性材料均勻性
          -線性材料均勻性

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